ERDA-TOF
Metoda ERDA-TOF (Elastic Recoil Detection Analysis - Time of Flight) s těžkými ionty umožňuje současné stanovení hloubkových profilů několika lehkých prvků s vysokou mírou správnosti. Metoda je založena na simultánním měření energie a rychlosti atomů vyražených z povrchu vzorku dopadajícími ionty. Z energie a rychlosti se stanoví hmotnost atomů. Rychlost je stanovena měřením času průletu atomu mezi dvěma detektory umístěnými na fixní vzdálenosti. Výsledkem je spektrum, kde jsou zaznamenány počty částic v závislosti na čase průletu (hmotnosti) a na energii částic.
Kombinace měření energie a času průletu částic vyražených ze vzorku umožňuje hmotnostní rozlišení částic (doba letu, energie) => hmotnost:
Komora pro měření metodou TOF - ERDA a detail TOF detektoru.
Ukázka spektra dopředně vyražených částic se současným měřením jejich energie a doby letu (Vrstva LiF na substrátu glassy carbon měřená Cu ionty).
Hloubkové profily pro Li a H pro vzorky niobičnanu lithného LiNbO3 po protonové výměně (spolupráce s VŠCHT, Forschungzentrum Rossendorf) - současné měření Li, H je přesnější, vyhodnocení je konzistentní:
